在测量低阻值电阻时，测量结果偏高可能是由于以下一些因素引起的：

1. 引线电阻： 测量电阻时，测试引线自身具有一定的电阻。尤其是对于低阻值测量，测试引线的电阻可能占比较大，导致整体测量值偏高。为了解决这个问题，可以使用四线法（四端法）进行测量，该方法通过独立的引线用于电流注入和电压测量，消除了引线电阻的影响。

2. 接触电阻： 在低阻值测量中，电阻元件与测试夹具或测试头之间的接触电阻可能对测量结果产生影响。确保电阻元件和测试接点之间有良好的金属接触是非常重要的。

3. 温度效应： 电阻值的测量可能受温度的影响。低阻值电阻在测量过程中因为电流通过导致局部发热，而导致测量结果受温度影响。一些低阻值测量设备可能会提供温度补偿功能，但仍然需要注意环境温度的影响。

4. 电流源的不稳定性： 测量低阻值时使用的电流源可能不稳定，导致电流值的变化，从而影响测量结果。使用稳定的电流源或校准测量设备可以减小这种影响。

5. 环境电磁干扰： 强电磁场可能对低阻值测量产生影响，导致测量结果的偏差。在可能受到电磁干扰的环境中，采取屏蔽措施可以有助于减小这种影响。

为了提高低阻值电阻的测量准确性，可以考虑使用专门设计用于低电阻测量的设备，并采取适当的措施来消除或校准上述因素的影响。